微型直線導軌受腐蝕后，在油污和滑槽被腐蝕的微坑中都發現有s，被“乙醇+超聲波”短暫清洗后的滑槽微坑中，殘留的s含量幾乎是油污中的2倍，一種可能的解釋便是：導軌油抗磨劑s容易吸附空氣中水分子后水解，成酸性。又因比重高于油，會沉積在滑槽底部，束縛于粗糙的微坑表面，加劇表面腐蝕。切削液中水分蒸發也是空氣中水分子的重要來源。S在微坑中較常見的是以硫酸鉀、硫酸鈣等硫酸鹽的形式存在。
滑塊粘附的少量金屬屑可從軌道表面刮削產生，大量的金屬屑來源于金屬加工過程中產生的斷屑污染。金屬斷屑粘有切削液，當切削液與導軌油混合，會形成油水混合物，即油泥。另一方面，切削液中堿等防銹成分容易被油吸附，剩下的水分因為比油重，沉人滑槽底部，并且更易束縛于損傷的表面，加速導軌表面腐蝕。
腐蝕首先在受損傷的微坑內產生，隨后向坑底、坑壁擴展，銹蝕面積不斷擴大。銹蝕液蔓延，與油脂混合，污染油脂，被銹蝕液蔓延到的區域防銹能力因此減弱。
